フォトマスクを洗浄する「マスク洗浄装置」などを紹介します。
株式会社エイブルジャパン 取扱製品 総合カタログでは、中央に搬送ロボットを設置し、各ユニットを放射線状に配置するタイプの「マスク洗浄装置（自動タイプ）」や、投入された基板に自動で塗布～乾燥まで行う装置「オートスピンコーター」、ウェハーの洗浄を行う装置「スピンクリーナー」、カセット内の基板受渡しを行う装置「LD／ULD」、塗布後の基板を乾燥する装置「UV照射装置」等、多数掲載しています。 【掲載製品】 ○マスク洗浄装置 ○スピンナー ○マニュアルスピンコーター ○スピンエッチャー ○フォトマスク用プロセス装置 他 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【ラインアップ】 ○マスク洗浄装置（自動タイプ） ○マスク洗浄装置（手動タイプ） →マスクのセット/リセットを手動で行なう ○オートスピンコーター ○スピンナー（実験用） →簡易タイプのスピンナー。100V電源で使用可能 ○マニュアルスピンコーター →基板の受渡しを人手又はMGVで行う装置 ○スピンクリーナー ○スピンエッチャー →ウェハーのエッチングを行う装置 ○MGV →半自動装置に付いている投入装置を走行式にした物 ○LD／ULD ○UV照射装置 →塗布後の基板を乾燥する装置 ○スリットコーター →薬液の使用量を大幅に削減する事が可能 ○フォトマスク用プロセス装置 →洗浄、塗布、現像、エッチング、剥離工程を一貫して処理を行う装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
株式会社エイブルジャパンは、ディスプレイや光ディスク、半導体製造装置、LEDや有機EL製造装置等の企画から開発、製造・販売などを承っております。 お客様のニーズに合わせた装置開発で、産業界のさらなる発展に貢献いたします。 また、ガラス切断研磨装置や、食料品・民芸品・日用雑貨・家具の輸出入及び販売も行っております。