ワンショットフラットネス検査装置 FIN-SP1
鏡面材料の表面形状を高速・高精度で3D可視化
鏡面材料(半導体ウェハ、HDD用磁気ディスクなど)の表面形状を高速・高精度で3D可視化するフラットネス検査装置となります。 この装置は、鏡面材料にパターン照明を投影し、その反射光をカメラで撮影、画像処理によってパターンの変化量を演算することで、μm（マイクロメーター）オーダーの精度で歪みや反りなどの表面形状を三次元的に測定します。フィゾー干渉計による測定結果とも高い相関性を示しており、信頼性の高いデータ取得が可能です。さらに、ワンショット撮像により広範囲の表面形状を瞬時に検査できるため、インラインにも適した検査ソリューションとなります。
- 企業：バイスリープロジェクツ株式会社
- 価格：応相談
