フローコントロールシステム『超小型 FCS-P』
ガス流体を高精度コントロール!ガス種を選ばず、装置ユニットの自由度が高まる!
『超小型 FCS-P』は、小型かつ軽量で、流量精度が既存モデルより向上した フローコントロールシステムです。 取り付け姿勢の影響を受けず、流量自己診断機能を搭載。 フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCSで様々な ガス種に対応します。 【特長】 ■小型かつ軽量 ■流量精度が既存モデルより向上 ■供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けない ■応答時間が0.5秒以下 ■取り付け姿勢の影響を受けない ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社フジキン(Fujikin Incorporated)
- 価格:応相談