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非回転構造で優れた制御性能！当社が取り扱う二次圧変動型気体用フローコントローラをご紹介
『MODEL 2412D SERIES』は、出口側(二次側)圧力変動に対して 一定流量を保持できる製品です。 非回転構造で優れた制御性能を有しており、最高使用圧力は 0.8MPa(G)となっています。 調節ネジ回転数は約12回転。また、最高使用温度は60℃です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体：N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量(Air 20℃)：10mL/min～20L/min ■制御精度：負荷圧力変動に対し1%指示値以内の変動(入口・出口差圧0.05MPa以上) ■調節ネジ回転数：約12回転 ■最高使用圧力：0.8MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
微少流量から制御可能！当社が取り扱う液体用フローコントローラをご紹介
『MODEL 2600-PPS SERIES』は、圧力変動に対して一定流量を 保持できる製品です。 接流体部材質はPPS(ガラス30%入り)、SUS316、FKM、FFKM、 PTFEとなっており、使用温度は15～50℃。 また、使用圧は0.1～0.5MPa(G)で、微少流量から制御できます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体：H2O ■流量定格：1～10mL/min、10～100mL/min、50～500mL/min、0.1～1L/min ■制御精度：±3%F.S.以内(液温一定であること) ■動作差圧：0.1MPa以上 ■使用圧：0.1～0.5MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ポンプのサイクル速度を自動制御しプリセット量で薬液を正確にバッチ（定量）供給または注入
■遠隔操作型ハスキー・ダイアフラム・ポンプを使用し液体を全般的にコントロール ■貴社プロセスを自動化 ■精密なポンプ・メータリング・システムの数分の一のコストで流量とバッチ量を±5％内の精度でコントロール ■バッチ量は23ccから38.000L ■液体圧力と無関係に流量をコントロール ■サイクル速度のプリセット範囲は10から200サイクル/分 ■サイクルフローコントローラーと遠隔操作型ハスキー・ダイアフラム・ポンプはエア回路で完全に結合
デジタルフローコントローラー（温度調整・流量計） DFC-10
【概要】 デジタルフローコントローラー DFC-10は、お客様のスーパーエアヒーターがワークに与える熱量を一定に制御します。 熱風温度を精密制御します。 風量を質量流量で精密制御します。 また、エアヒーターに関わる安全回路を搭載しております。 【特長】 ●熱量制御 ── スーパーエアヒーターがワークに与える熱量を一定に制御できます ── ・エアー温度制御に加え、質量流量で一定に制御することによって単位時間あたり、ワークに与える熱量を一定にすることが出来ます。 ・デジタル設定により、読み取り誤差などの個人差が発生しません。データによる製造技術の継承にも有効だと思われます。 ・お客様の製品の品質向上と、均一化のお役にたちます。 ●品質管理 ── 製造データが残せます ── ・製造履歴による品質管理が可能です。 ・デジタルで流量積算値をカウントすることにより省エネに関するデータの把握、管理が可能となります。 ●安全管理 ・各種警報出力により、お客様の安全回路に異常などを通知することが出来ます。 ★詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい★
デジタルフローコントローラー（温度調整・流量計） DFC-100L
【概要】 デジタルフローコントローラー DFC-100Lは、デジタル質量流量計とデジタル温度調節器を一体化したスーパーエアヒーター用熱量制御器です。 ワークに与える熱風量を均一かつ一定にコントロールすることができ、より高精度な熱量の制御が可能になりました。エアヒーターの吹出口熱量（熱風温度＋流量）の調節は、前面のパネルキー操作により、所定の温度と流量に設定するだけで常時熱風温度をヒーター内蔵センサー（熱電対）で測定しながら、PID制御方式と質量流量制御によりコントロールを行います。 【特長】 ●熱量制御 ── ワークに与える熱量を一定に制御できます ── ・温度制御に加え、質量流量で一定に制御することによって単位時間あたり、ワークに与える熱量を一定にすることが出来ます。 ・デジタル設定により読み取り誤差など、個人差が発生しません。 ・お客様の生産品質向上、均一化に最適 ・歩留まり向上に最適 ・安全回路を搭載しています。 ★詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい★
真空容器内に既知の流量の各種気体を導入することができる装置です((独)産業技術総合研究所との共同研究）
・ほぼあらゆる気体(混合ガスを含む)を用いての既知の流量を真空容器等に導入が可能 ・流量が上流圧力に比例 ・様々な流量を容易に発生させることが可能（コンダクタンスが一次圧力に対して一定） ・温度依存性が小さい
リニアモータ内蔵で幅広い動作差圧範囲を実現！LEDランプで動作状態、エラー発生の確認可能
当社で取り扱う空気用フローコントローラ『PFCQシリーズ』を ご紹介いたします。 リニアモータを内蔵し、リニアモータに取付けられた弁体を 移動することによって流れる流量を調整。 流量指令信号が入力されると内蔵の演算回路において流量センサで 計測した流量と比較演算され、その値に基づいてリニアモータを駆動し 流量制御します。 【特長】 ■流量制御範囲：9～300L/min ■動作差圧範囲：0.05～0.5MPa ■設定流量への到達時間：0.5秒以下 ■制御精度：±3％F.S. ■ノングリース ■軽量800g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
省スペース/省配管/省配線/省導入工数！グリースの選択や各種制御診断が可能
『IN502-44/45』は、流量の自動調整が可能な空気用フローコントローラです。 圧力センサを利用した流量換算と温度センサによる流量の温度補正を 採用したことで、計測と出力が可能に。 また、スイッチ出力「許容差モード」にて、制御流量が流量指令値に対して、 所定の許容差以内に入った場合にスイッチ出力します。 【特長】 ■流量の自動調整が可能 ■制御精度：±5％F.S. ■応答性：0.5s以下 ■3画面表示 ■省スペース/省配管/省配線/省導入工数 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
流量制御精度は±5％F.S.、応答時間は10S以下！接流体部ノングリース
当社で取り扱っている水用フローコントローラ『FC3W Series』を ご紹介いたします。 電気信号に比例して水流量を無段階に制御。上流の圧力が変わっても 各ラインの流量を一定に調整することが可能です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■電気信号に比例して水流量を無段階に制御 ■上流の圧力が変わっても各ラインの流量を一定に調整することが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
2次側圧力値と流体温度を同時に計測が可能！制御流量の流量指令値到達をお知らせ
『IN502-44/45』は、流量の自動調整が可能な空気用 フローコントローラです。 圧力センサを利用した流量換算(差圧式)と温度センサによる流量の 温度補正を採用したことで、計測と出力が可能に。 スイッチ出力「許容差モード」にて、制御流量が流量指令値に対して、 所定の許容差以内に入った場合にスイッチ出力します。 【特長】 ■制御精度 ±5％F.S. ■応答性 0.5s以下 ■設定流量に自動制御 ■導入工数の削減 ■負荷変動の影響を削減 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
多様な操作器と、バルブサイズの選択で様々な制御に対応します
豊富な機種の操作器と、様々なサイズのバタフライ弁やボール弁を組み合わせることができます。 岡谷精立工業株式会社の調節弁（調量弁、調率弁）と組み合わせれば、バーナの空燃比制御などに用いることができます。 操作器とバルブサイズ、種類の組み合わせが自由なため、様々な用途に対応でき、流量や圧力を高精度に制御できます。 【特徴】 ○操作器とバルブサイズ、種類の組み合わせが自由 ○様々な用途に対応 ○流量や圧力を高精度に制御 ○大きなトルクやハイスピードで使用可能 ○コンパクト ※詳しくはＰＤＦ資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
非回転構造！優れた制御性能の一次圧変動型気体用フローコントローラ
『MODEL 2204 SERIES』は、N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体が 対象流体の製品です。 非回転構造で優れた制御性能を有しており、入口側(一次側)圧力変動に 対して一定流量の保持が可能。 また、最大流量(Air 20℃)は10mL/min～10L/minで、最高使用圧力は 0.8MPa(G)となっています。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体：N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量(Air 20℃)：10mL/min～10L/min ■制御精度：入口圧力0.07～0.8MPaの間、0.3MPaの変化に於いて、 流量変動値±2%指示値以内 ■調節ネジ回転数：約12回転 ■最高使用圧力：0.8MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
使用温度は15～35℃！圧力変動に対して一定流量を保持できる液体用フローコントローラ
『MODEL 2600-S SERIES』は、微少流量から制御できる製品です。 対象流体はH2Oで、圧力変動に対して一定流量の保持が可能。 また、流量定格は1～10mL/min、10～100mL/min、50～500mL/min、 0.1～1L/minとなっています。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体：H2O ■流量定格：1～10mL/min、10～100mL/min、50～500mL/min、0.1～1L/min ■制御精度：±3%F.S.以内(液温一定であること) ■動作差圧：0.1MPa以上 ■使用圧：0.1～0.5MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。
更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 高速応答ピエゾアクチュエータを採用 デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上 パーティクル発生 極少 ○デジタルインターフェース標準装備 RS485 ○RoHS対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。
圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成 ○フローファクターの採用 様々なガス種に対応可能 ○優れた精度 ○流量自己診断機能の搭載 ○すばやい応答性 ○マウントポジションフリー ○デバイスネット通信にも対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
