全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に、最適に設計されております。
Malema社製のフローコントローラーは、高純度薬液用に接液部をオールテフロン製で、制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラーも取り揃えております。
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基本情報
PFA製コリオリ式流量コントローラーは、超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御ができます。 流体の粘度の変化に影響されず、高精度で流量モニターや制御が可能で、被計測流体の特性による調整、設定が不要、30％以内の気体含有液を制御可能。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置の流体制御に
ラインアップ（3）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| LFC-7000シリーズ | |
| MFC-8100シリーズ | |
| CMFC-9000シリーズ |
企業情報
半導体製造装置、検査装置、半導体製造装置用コンポーネントの国内外への販売、技術サポート、デバイス製造におけるコストダウンを提供する技術商社です。