超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。
圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成 ○フローファクターの採用 様々なガス種に対応可能 ○優れた精度 ○流量自己診断機能の搭載 ○すばやい応答性 ○マウントポジションフリー ○デバイスネット通信にも対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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基本情報
1. 供給圧力が変動に対して、制御流量は影響を受けません。 2. 応答時間が早い（0.5秒以下） 3. 優れた制度（標準タイプの場合で±1.0％S.P.以内） 4. MGMR（マルチガス・マルチレンジ）機能搭載 5. 取付姿勢の影響を受けません。 6. 流量自己診断機能を搭載 7. ガス種を選びません 8. RoHS対応
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企業情報
特殊バルブ機器類だけでなく、 超精密ながれ(流体)制御システムにおける トップランナーへと成長を遂げたフジキン。 極限の技術が要求される陸・海・空の多彩なフィールドで、 私たちフジキンの最先端テクノロジーが活かされています。 あらゆる最先端産業の分野を見つめる私たちは、今後、 新素材を含め高分子化学やバイオテクノロジー、新エネルギー、 エコロジー、マイクロマシン、ナノ・ピコテクノロジー、 メディカルエンジニアリング、福祉機器等々の最先端技術及び ICT(情報通信技術)・IoT(モノのインターネット) を駆使した事業の展開をはかってまいります。 【事業分野】 ・半導体製造装置用超精密バルブ機器 ・宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器 ・石油化学プラント用特殊バルブ機器 ・バイオ(医薬・食品)用無菌プロセスバルブ機器 ・新エネルギー・二次電池用バルブ機器 ・原子力発電所用計装バルブ機器 ・海洋開発用ながれ(流体)制御システム機器 ・ライフサイエンス─医療・介護・ヘルスケア／チョウザメ事業─