全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に最適な設計です
Malema社製の『フローコントローラー』は、高純度薬液用のため接液部が オールテフロン製です。 制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で 使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、 CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラー も取り揃えております。 【特長】 ■超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御 ■流体の粘度の変化に影響されず、高精度で流量モニターや制御が可能 ■被計測流体の特性による調整、設定が不要 ■30％以内の気体含有液を制御可能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■LFC-7000シリーズ ■MFC-8100シリーズ ■CMFC-9000シリーズ ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置の流体制御に ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
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企業情報
半導体製造装置、検査装置、半導体製造装置用コンポーネントの国内外への販売、技術サポート、デバイス製造におけるコストダウンを提供する技術商社です。