熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。
更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 高速応答ピエゾアクチュエータを採用 デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上 パーティクル発生 極少 ○デジタルインターフェース標準装備 RS485 ○RoHS対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 高速応答ピエゾアクチュエータを採用 デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上 パーティクル発生 極少 ○デジタルインターフェース標準装備 RS485 ○RoHS対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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特殊バルブ機器類だけでなく、 超精密ながれ(流体)制御システムにおける トップランナーへと成長を遂げたフジキン。 極限の技術が要求される陸・海・空の多彩なフィールドで、 私たちフジキンの最先端テクノロジーが活かされています。 あらゆる最先端産業の分野を見つめる私たちは、今後、 新素材を含め高分子化学やバイオテクノロジー、新エネルギー、 エコロジー、マイクロマシン、ナノ・ピコテクノロジー、 メディカルエンジニアリング、福祉機器等々の最先端技術及び ICT(情報通信技術)・IoT(モノのインターネット) を駆使した事業の展開をはかってまいります。 【事業分野】 ・半導体製造装置用超精密バルブ機器 ・宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器 ・石油化学プラント用特殊バルブ機器 ・バイオ(医薬・食品)用無菌プロセスバルブ機器 ・新エネルギー・二次電池用バルブ機器 ・原子力発電所用計装バルブ機器 ・海洋開発用ながれ(流体)制御システム機器 ・ライフサイエンス─医療・介護・ヘルスケア／チョウザメ事業─