真空容器内に既知の流量の各種気体を導入することができる装置です((独)産業技術総合研究所との共同研究）
・ほぼあらゆる気体(混合ガスを含む)を用いての既知の流量を真空容器等に導入が可能 ・流量が上流圧力に比例 ・様々な流量を容易に発生させることが可能（コンダクタンスが一次圧力に対して一定） ・温度依存性が小さい
この製品へのお問い合わせ
基本情報
分子フローコントローラーは、標準コンダクタンスエレメント(別売)を用いて、真空容器内に既知の流量の各種気体を導入することができる装置です。 標準コンダクタンスエレメント（SCEシリーズ）とは、ステンレス製の多孔質焼結体からなるガス導入素子で、その焼結体の孔の直径が非常に小さいことから、一次圧力が比較的高い圧力においても気体の流れが分子流条件を満たすことができます。これにより以下の特性を利用することができます。 ・ほぼあらゆる気体(混合ガスを含む)を用いての既知の流量を真空容器等に導入が可能 ・流量が上流圧力に比例 ・様々な流量を容易に発生させることが可能（コンダクタンスが一次圧力に対して一定） ・温度依存性が小さい
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
※お問合せ下さい。
用途／実績例
昇温脱離ガス分析(TDS ：Thermal desorption spectroscopy)での定量測定 ⇒ PMFC-100シリーズを用いて、既知の各種気体(H2/H2O/CO/N2/CO2)を導入し、 質量分析計を校正し定量評価 極高真空用クライオポンプの性能評価（極高真空の発生・維持の管理） ⇒ PMFC-100シリーズを用いて、既知の各種気体(H2 /N2/Ar/CH4)を真空容器内に導入し、 その気体量に対しての排気速度の評価 有機EL用バリア膜性能評価（水蒸気/酸素が原因による有機ELの酸化による性能劣化） ⇒ 質量分析器について、PMFC-100シリーズを通した水蒸気を用いて定量校正による定量評価
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
株式会社ピー・ジェイは、(株)ピュアロンジャパンの総販売元として設立されました。(株)ピー・ジェイは全力を尽くしてピュアロン製品を世界に発信して参ります。 取扱商品 １.（株）ピュアロンジャパン製品全て ・セラミックガスフィルター ・メタルガスフィルター ・ハステロイガスフィルター ・ＰＴＦＥガスフィルター ・ハイブリッドフィルター ・ガス精製器 ・ヒーター ・リキッドフィルター ・圧力センサー ・表示器 ・温度センサー ・微差圧計 ・比抵抗率計 ・デジタルフローコントロールシステム ２.半導体製造装置用及び一般産業機器向け流体制御機器部品