新しい形で半導体薬液供給にかかわる排圧弁のソリューションを提案！幅広い用途に合わせて選択できます。
GEMÜ半導体製造向けフッ素樹脂バルブは世界各地の半導体工場で薬液やCMPスラリー供給設備の部分において活躍しております。その中でも弊社コントロールバルブを排圧弁としても使用いただいております。 排圧弁は特に薬液を安定的に供給するため、1次側の圧力を一定に保つために2次側に圧力を逃します。 特にCMPなど薬液の供給量が一定であることはウェハーの品質を保つ重要なポイントになります。 そこで弊社のバルブでは3種類のコントロールバルブをご提案できます。 ・iComLine C50＋GEMÜ 1434μPos ポジショナー 小流量制御、素早いON/OFFも可能 ・iComLine C53 電動コントロールバルブ より制御が細やかなバルブ、CMPでも実績あり ・CleanStar C60＋GEMÜ 1434μPos ポジショナー CMPに最適、ON/OFFも可能 どれも4-20mAで制御が可能で、バルブを用意していただくだけで、精密レギュレーターなど別部品は必要ありません。 PLC制御盤で制御が可能です。制御盤から管理していただくことで、異常時の発見も容易です。
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基本情報
【基本仕様】 サイズ：1/4"～1 1/4"(バルブタイプによる) 接続：Pillar Super 300・フレア・その他 ボディ材質：PTFE・PFA ダイアフラム材質：PTFE・PTFE/EPDM 電源：24V DC 入出力信号：4-20mA他 ※バルブタイプによって選択肢に限りがあります。用途・流体条件等で最適な製品を選定させていただきますのでお問い合わせください。
価格情報
お問い合わせください。
納期
※標準納期約2か月 ※お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
・スラリー供給システム背圧弁 ・薬液流量調整弁 ・ドージング 他
詳細情報
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ポジショナーはバルブの上部に取付。リモートマウンティングでバルブから約20m程度離れた位置にも設置可能です。装置内の省スペース化ができます。
ラインアップ（3）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| C60 CleanStar＋1434 μPos ポジショナー | CMPスラリーに特に最適な設計。圧損が少なく・液だまり最小限・洗浄性の高いバルブ設計 |
| C53 iComLine 電動コントロールバルブ | ステッピングモーターを搭載し、精密な制御を実現 |
| C50 iComLine ＋1434 μPos ポジショナー | 空気操作式の小流量制御 |
カタログ（1）
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企業情報
GEMÜ（GEMU）は最先端の製造工場における新技術開発力で価値を提供します。 私たちは世界中の製薬業界と強い繋がりを持ち、バルブ開発・改良に取り組んできました。その中で、無菌性が必須の「サニタリーダイアフラムバルブ」や、高い制御精度が求められる「半導体製造に特化したバルブ」等、多くの製品を取り揃えるに至りました。 全世界6か所の製造拠点を設け、世界50ヶ国以上でサービスを提供しています。 サニタリーバルブ市場においてリーディングカンパニーとして、多くのプラントで採用頂いています。 研究開発には積極的に取り組み、毎年売上の5％以上が開発投資に回されています。 おかげさまで、ドイツの経営経済研究所（IMWF）よりデジタル化を推進するテクノロジー企業として表彰されています。
