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ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー
・卓上型、低コスト、高性能タイプ ・実験用から本格量産まで使用可能 ・RIEモード標準（DPモード切替器はオプション） ・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載 ・標準油回転ポンプ付 標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行平板、ロードロックタイプと多種に対応しております。大気圧プラズマについても取り揃えております。
ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。
当カタログは、ヤマトマテリアルが取り扱うプラズマ装置を掲載したカタログです。 デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、 「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。 当社では、プラズマドライクリーナー、エッチャー（エッチング）、アッシャー（アッシング）の処理目的に合った プラズマ装置を、標準品以外にもカスタムメイドで対応。 企画から提案まで一環してお引き受けしています。 【掲載内容】 ■市場・用途 ■プラズマモードの説明 ■デモ機ラインアップ ■プラズマ装置ラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
