プラズマドライクリーナー プラズマクリーナー プラズマ洗浄装置
ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー
・卓上型、低コスト、高性能タイプ ・実験用から本格量産まで使用可能 ・RIEモード標準（DPモード切替器はオプション） ・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載 ・標準油回転ポンプ付 標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行平板、ロードロックタイプと多種に対応しております。大気圧プラズマについても取り揃えております。
- 企業：ヤマトマテリアル株式会社
- 価格：応相談
