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プラズマ発生装置 - メーカー・企業と製品の一覧

プラズマ発生装置の製品一覧

1~3 件を表示 / 全 3 件

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液中パルスプラズマ発生装置

卓上で簡単に液中プラズマ(ソリューションプラズマ)を用いた実験が可能です。

栗田製作所の独自技術による安定した水中放電を実現しました。 アーク機構が必要ないため、シンプルな構造です。 CNT(カーボンナノチューブ)の水溶液への溶解も可能になり、新たな材料の創出が可能です。 本電源は、愛知ナノテクものづくりクラスター成果活用促進事業にも採用された実績があります。

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プラズマ関連製品 RFプラズマ源 ERFS-501

ICPタイプのRF高密度プラズマにより各種原料ガスを処理し、成膜実験、エッチング実験等にご使用頂けます。

プラズマ室は石英製になっており、また無電極放電により金属コンタミの少ないプロセスが可能です。活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え、かつクリーンな原子・ラジカルビーム等を得ることができます。

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【先端材料分野向け】多相プラズマ発生装置

ナノ材料の合成専用、10,000℃無害化処理、処理性能100%アップ

●超高温10,000℃で高融点材料の溶解、先端技術・極材料の合成、難処理物質の無害化や分解ができます。 ●汎用性が高く、低コストな交流電源仕様。 ●広いアーク領域で一度に多くの合成・分解処理が可能。 ●滞留時間が長いため熱効率が高く省エネルギー。 ●試験機から生産機スケールまで対応。設計、システム構築、メンテナンスまでトータルにバックアップ。

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