【半導体業界】ナノインプリントステッパー
ナノの領域へ、完璧に刻む。つくば産総研監修・高精度ステップ＆リピート転写装置。
本装置は、つくば産総研監修のもと開発された、モールドからワークへナノ単位の微細パターンを複数回に分けて転写する高精度ナノインプリント装置です。 微細な凹凸が彫られた型（モールド）を一気にパターンを転写します。 転写後の残膜を薄くできるのが本機の特徴です。 【主な特長】 超高精度アライメント：モアレ検出により精密アライメント精度100nm以下を実現。分解能10nm以下の精密XYステージと0.25秒以下のθステージで緻密に位置決めします。 高品位転写を支える複合機構：ウエハ湾曲機構やαβ調整モールド機構、4系統マスフロー制御（TFP/CTFP/N2/He）、平行LED-UV光（365nm）により気泡を防止し均一に転写。 多用途対応：8インチSiウエハや200mm角ガラス基板、各種モールドサイズに対応します。 株式会社ライズワン 「設計から、その先（保守・改善）まで。FA装置のすべてを、ひとつのチームで。」 「『こうしたい』をカタチにし、ずっと守り抜く。FA装置のワンストップ・パートナー。」
- 企業：株式会社ライズワン
- 価格：応相談
