減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206 series
減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206
液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 各種液体材料（TEOS、TEB、TEPO、etc）を精密流量制御する と同時に高効率で気化可能 ○ピエゾバルブ採用 ○常圧プロセスから減圧プロセスまで対応 ○最高160℃の加熱が可能 ○コンパクトなボディサイズ ○RoHS対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：株式会社リンテック 東京営業所
- 価格：10万円 ~ 50万円
