ベルヌーイピンセット(50μm超薄ガラス用)
50μm超薄ガラス・超薄ウエハを非接触にて搬送するピンセット
気体を噴出することにより非接触にてウエハを搬送するベルヌーイチャックにバルブの付いた取っ手を付け、ピンセットのように手操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて所定の場所に搬送する非接触ピンセット。非接触であるのでウエハに傷を付けず、簡易に非接触にて搬送する。
- 企業:有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
- 価格:応相談
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50μm超薄ガラス・超薄ウエハを非接触にて搬送するピンセット
気体を噴出することにより非接触にてウエハを搬送するベルヌーイチャックにバルブの付いた取っ手を付け、ピンセットのように手操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて所定の場所に搬送する非接触ピンセット。非接触であるのでウエハに傷を付けず、簡易に非接触にて搬送する。