５０μm超薄ガラス・超薄ウエハを非接触にて搬送するピンセット
気体を噴出することにより非接触にてウエハを搬送するベルヌーイチャックにバルブの付いた取っ手を付け、ピンセットのように手操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて所定の場所に搬送する非接触ピンセット。非接触であるのでウエハに傷を付けず、簡易に非接触にて搬送する。
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基本情報
気体を噴出することにより非接触にて５０μm厚ガラス・ウエハを搬送するベルヌーイチャックにバルブの付いた取っ手を付け、ピンセットのように手操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて所定の場所に搬送する非接触ピンセット。非接触であるのでウエハに傷を付けず、簡易に非接触にて搬送する。
価格情報
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納期
~ 1週間
用途／実績例
手操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップ、スマホガラスを非接触にて所定の場所に搬送する非接触ピンセット。非接触であるのでウエハ、スマホガラスに傷を付けず、簡易に非接触にて搬送する。
企業情報
当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を用いたウエハ、液晶ガラス基板、ＰＤＰ、セラミック、プリント基板、ＦＰＣ基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。