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薬液用 フッ素樹脂製 ベローズポンプ
薬液透過対応型 (TMA・TMAH・HCl・HF等) 【特長】 ◆ 接液部以外にも金属部品を一切使用していないため金属汚染の心配がない。 ◆ 接液部にOリングを使用していない。 ◆ 完全自吸式でクリーンドライエアー、または窒素の接続のみで即稼動。 ◆ ポンプ制御用のコントロールユニットが不要。 ◆ ストローク検知機能、リークセンサー対応機構をオプションで選択可。 ◆ 小型かつ軽量で取り扱いが非常に容易。 ◆ 吐出流量は 15L/min、30L/min、60L/min の３機種。
金属汚染の心配なし！接液部以外も金属部品を一切使用しておりません。
CMP用スラリー対応型 (酸化膜スラリー・メタル用スラリー)
フレキシブルなステンレス製ベローズダイアフラムの特長を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサに。
・優れた気密性 溶接ベローズと密閉されたハウジングの構造により、非常に気密性の高い状態で吸込、吐出が可能です。 ヘリウムリークタイト：1×10（-6）～1×10（-10）Pa・立方メートル/sec ・コンタミネーションが無い 接ガス部であるベローズとリードバルブには構造的摩耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがありません。 ・耐食性が高い 接ガス部の材質は劣化、腐食に強い300シリーズステンレスが使用されています。 バルブのガスケットにはテフロン、またはバイトンガスケットが使用されており、 オプションでアルミOリング（ガスケット）を選定すると、接ガス部を全てメタル構造にすることができます。 ・寿命が長い 運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下の応力レベルで設計、 製造されているため、無限に近い運転サイクルに耐えることが出来ます。また、航空宇宙や原子力機器レベルの品質管理要求に対応する占有の製造設備、統一された溶接工程、溶接技術によって、信頼性、安定性の高い高性能な製品の性能を保証する事ができます。 ※特殊仕様対応も可能です。
