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高温大流量移送により、洗浄効率の大幅な向上を実現したベローズポンプ
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2は、Max180℃、最大流量100L/minでの移送が可能となり、CARO（SPM）やH3PO4などの高温移送が必要な薬液に対して、当社従来製品と比較して約1.8倍の循環流量の向上が見込めます。 【特長】 ●Max. 180℃、最大流量100L/minでの移送が可能。 ●循環流量の向上により、洗浄時間の増加を抑えることが可能です。 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●リークセンサを標準装備。 ●専用コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
手のひらに乗るサイズの小型のベローズポンプで接液部は全てフッ素樹脂（PTFE/PFA)を使用し高純度薬液の移送にも使用可能です。
White Knight社が開発した低価格且つ小型のベローズポンプで、接液部にＯ-リングを使用しておらずコンタミ等の発生の心配がありません。また、ボディシール部にはWhite Knight社独自のシール技術を用いているため、増し締めなどのメンテナンス作業が不要です。ポンプ本体も含め100％ノンメタルの為、汚染、腐食の心配がありません。
【気体用】二重ベローズ構造で外部へのリークを完全にシャットオフ！！
ACモータ ■オプションで防爆対応可能です ■二重ベローズ構造で外部へのリークを完全にシャットオフ ■リークセンサ機能により、万が一ベローズに破損があった際は、警報と同時にシステムのシャットダウンが可能 ■放射性ガス、危険ガスの漏洩や希少、高価ガスの損失等の問題を解決 ■原子力用途で水素、トリチウム、超低温用途でヘリウム3、半導体用途で希ガス、フッ素ガス等の移送、循環、精製プロセスに最適 メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フレキシブルなステンレス製ベローズダイアフラムの特長を生かした容積式ポンプ。ガスのリサイクル精製、 水素ガス、アンモニアガスに！
■優れた気密性 溶接ベローズと密閉されたハウジングの構造により、非常に気密性の高い状態で吸込、吐出が可能です。ヘリウムリークタイト：1×10（-6）～1×10（-10）Pa・立方メートル/sec ■コンタミネーションが無い 接ガス部であるベローズとリードバルブには構造的摩耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがありません。 ■耐食性が高い 接ガス部の材質は劣化、腐食に強い300シリーズステンレスが使用されています。 バルブのガスケットにはテフロン、またはバイトンガスケットが使用されており、 オプションでアルミOリング（ガスケット）を選定すると、接ガス部を全てメタル構造にすることができます。 ■寿命が長い 運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下の応力レベルで設計、製造されているため、無限に近い運転サイクルに耐えることが出来ます。また、航空宇宙や原子力機器レベルの品質管理要求に対応する占有の製造設備、統一された溶接工程、溶接技術によって、信頼性、安定性の高い高性能な製品の性能を保証する事ができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高速ストローク化で小型・軽量・ローコスト化を実現
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズは、Max. 240spmの高速ストロークで、小型・軽量・ローコスト化を実現しました。 【特長】 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●ポンプヘッドとベローズは溶接一体構造、液漏れの心配がありません。 ●独自に開発したシャフトシールの採用で、パーティクルの発生が一段と少なくなっています。 ●リークセンサを標準装備。 ●専用コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
最大100L/minが移送可能なエアー駆動フッ素樹脂製大型ベローズポンプ
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズは、高圧（0.6MPa以上）・大流量吐出が必要な薬液供給に最適な半導体プロセスポンプです。 【特長】 ●Max. 100L/minの大流量吐出。 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●ポンプヘッドとベローズは溶接一体構造、液漏れの心配がありません。 ●独自に開発したシャフトシールの採用で、パーティクルの発生が一段と少なくなっています。 ●リークセンサを標準装備。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
低脈動移送が可能で付加追従性が向上！エアー消費量を最大30%削減
イワキエアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズは、独自の駆動メカニズムで低脈動移送を実現したエアー駆動ベローズポンプ。従来品よりもエアー消費量を最大３０％も削減します。 また、ダンパーの組み込みが不要で省スペース。配管作業もカンタンで高価な配管材を減らせるため、トータルコスト削減も可能にします。 【特長】 ●脈動を打ち消す独特の駆動メカニズム。 ●枚葉式洗浄プロセスに適した優れた負荷追従性。 ●ダンパーが不要なので、装置の小型・軽量化に貢献します。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
耐蝕・耐薬品性に高い性能
液洩れのない構造です。 軽量、小型、構造が簡単です。 ドライ運転OK、自吸使用も可能です。 特殊成型のベローズと堅牢な駆動機構により耐久性がよく長期の連続運転にも高い耐久性です。 吐出量調節はポンプ停止中に10〜100％の範囲で可能です。
使用温度、薬液、流用に応じ様々なアプリケーションに適したポンプを提供致します。
White Knight 社製テフロン製薬液供給ポンプは、「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの特長を活かして、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用されております。 使用温度、薬液、流量に応じてお客様のアプリケーションに適したポンプを提供致します。 ◆使用材質：PTFE、PFA、Polypropylone（非接触部分） ◆最高使用薬液温度：210℃、高温薬液での高流量出力可能 ◆流量：20〜110 l/minの3タイプ ◆メンテナンスフリーで一年間の動作保証。 詳しくはお問い合わせください。
【気体用】小型・軽量の標準型シリーズ。サンプリング分析等に適しています！
ACモータ ■小型・軽量 メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特長を生かした容積式ポンプです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用】装置組込用やガスの移送、貯蔵、循環ライン等に適したシリーズです。
ACモータ メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
中型機種になり吐出圧・流量とも用途幅の広いシリーズ。半導体プロセスガス、ヘリウム3等の循環用途で実績があります。
メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 【特長】 ■優れた気密性 リークタイト 1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He) ■コンタミネーション無し 構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない ■高い耐食性 接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン 又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、 接ガス部をALLメタル構造にすることができる ■長寿命 運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで 設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る ※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。
【気体用】シングルヘッドタイプで大流量シリーズ。280kPaまで昇圧可能。各種研究、実験用途での豊富な実績があります。
ACモータ ■ オプションで防爆対応可能です。 メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用】ダブルヘッドタイプのシリーズ。各種用途に応じた設計対応が可能となります。
ACモータ ■オプションで防爆対応可能です。 メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用】ダブルヘッドタイプで最も大流量のシリーズ。並列で台数を増やすことが出来ます。
ACモータ ■ オプションで防爆対応可能です。 メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用】230℃の高温ガスでも使用可能なシリーズ。高温ガスの他、排ガス等のサンプリング分析に好適です。
ACモータ ■230℃までの高温ガスで使用可 ■オプションで防爆対応可能です。 メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用】高温ガス用途でシングルヘッドのシリーズです。280kPaまで昇圧可能です。
ACモータ ■230℃までの高温ガスで使用可 ■オプションで防爆対応可能です。 メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用】高温ガス対応のダブルヘッドのシリーズ。高温タイプでは最も大流量のラインアップとなります。
ACモータ ■230℃までの高温ガスで使用可 ■オプションで防爆対応可能です。 メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用】275kPaG以上の昇圧、循環用途で使用可能です！
ACモータ ■標準型では対応できない275kPaG以上の昇圧、循環用途で使用可 ■オプションで防爆対応可能です。 メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
定量ポンプ防爆型（ふっ素樹脂PTFE製）
耐薬品性、定量性に優れた、エアー駆動によるふっ素樹脂PTFEベローズポンプです。 ■液体に最適 ■自吸式 ■定量性０．５％ ■運転音がきわめて低い ■防爆型、引火性流体に最適 ■独特なふっ素樹脂PTFE被覆整形のマグネット弁使用でスプリングを使用せず、接液部はオールふっ素樹脂PTFE製で耐腐食性抜群
ポンプ全体の気密性も高く設計！振動低減仕様・高温仕様・防爆仕様を追加しました！
伸栄産業が取り扱う株式会社IBSの『ダイアフラムポンプ』をご紹介します。 小型・軽量設計により機器内蔵が容易。ガス分析のサンプリング用として 適しております。 また、ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサとして使用できる 「メタルベローズポンプ」も取り扱っております。 【ダイアフラムポンプ 特長】 ■独自設計により、バルブ・ダイアフラムは長寿命 ■耐食性の要求される環境下でも使用可能 ■吸排気口（IN/OUT）はチューブ接続の為、くい込み式の継手にも対応可能 ■気液混合流体にも対応し、液体用（自吸式）としても使用可能 ■様々な要求仕様や用途に合わせ設計、製造が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
粘度、比重、酸・アルカリなど、その用途に応じて構造や素材を厳選し設計！
『Furonシリーズ』は、半導体・PFD製造装置に使用されるフッ素樹脂 (PFA/PTFE)を中心としたポンプです。 当社のポンプは、接液部にはフッ素樹脂を使用し、半導体・PFD製造装置や 有機EL製造装置など、特殊な流体を使用する用途に適しています。 また、製品の長寿命化とコスト削減ができる、高純度フッ素樹脂製 空気作動ベローズポンプ「Furon A2 Pumps」などをご用意しております。 【Furon A2 Pumpsの特長】 ■金属部品なし ■100％高純度PFAおよびPTFEによる接液部部材 ■100％エラストマーフリー ■世界各地に点在する予防保守向けサービスセンター ■PLCを使用せず、短時間で簡単にセットアップできるシステム ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
