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高温大流量移送により、洗浄効率の大幅な向上を実現したベローズポンプ
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2は、Max180℃、最大流量100L/minでの移送が可能となり、CARO（SPM）やH3PO4などの高温移送が必要な薬液に対して、当社従来製品と比較して約1.8倍の循環流量の向上が見込めます。 【特長】 ●Max. 180℃、最大流量100L/minでの移送が可能。 ●循環流量の向上により、洗浄時間の増加を抑えることが可能です。 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●リークセンサを標準装備。 ●専用コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
手のひらに乗るサイズの小型のベローズポンプで接液部は全てフッ素樹脂（PTFE/PFA)を使用し高純度薬液の移送にも使用可能です。
White Knight社が開発した低価格且つ小型のベローズポンプで、接液部にＯ-リングを使用しておらずコンタミ等の発生の心配がありません。また、ボディシール部にはWhite Knight社独自のシール技術を用いているため、増し締めなどのメンテナンス作業が不要です。ポンプ本体も含め100％ノンメタルの為、汚染、腐食の心配がありません。
【気体用】二重ベローズ構造で外部へのリークを完全にシャットオフ！！
ACモータ ■オプションで防爆対応可能です ■二重ベローズ構造で外部へのリークを完全にシャットオフ ■リークセンサ機能により、万が一ベローズに破損があった際は、警報と同時にシステムのシャットダウンが可能 ■放射性ガス、危険ガスの漏洩や希少、高価ガスの損失等の問題を解決 ■原子力用途で水素、トリチウム、超低温用途でヘリウム3、半導体用途で希ガス、フッ素ガス等の移送、循環、精製プロセスに最適 メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フレキシブルなステンレス製ベローズダイアフラムの特長を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサに。
■優れた気密性 溶接ベローズと密閉されたハウジングの構造により、非常に気密性の高い状態で吸込、吐出が可能です。ヘリウムリークタイト：1×10（-6）～1×10（-10）Pa・立方メートル/sec ■コンタミネーションが無い 接ガス部であるベローズとリードバルブには構造的摩耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがありません。 ■耐食性が高い 接ガス部の材質は劣化、腐食に強い300シリーズステンレスが使用されています。 バルブのガスケットにはテフロン、またはバイトンガスケットが使用されており、 オプションでアルミOリング（ガスケット）を選定すると、接ガス部を全てメタル構造にすることができます。 ■寿命が長い 運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下の応力レベルで設計、製造されているため、無限に近い運転サイクルに耐えることが出来ます。また、航空宇宙や原子力機器レベルの品質管理要求に対応する占有の製造設備、統一された溶接工程、溶接技術によって、信頼性、安定性の高い高性能な製品の性能を保証する事ができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薬液用 フッ素樹脂製 ベローズポンプ
薬液透過対応型 (TMA・TMAH・HCl・HF等) 【特長】 ◆ 接液部以外にも金属部品を一切使用していないため金属汚染の心配がない。 ◆ 接液部にOリングを使用していない。 ◆ 完全自吸式でクリーンドライエアー、または窒素の接続のみで即稼動。 ◆ ポンプ制御用のコントロールユニットが不要。 ◆ ストローク検知機能、リークセンサー対応機構をオプションで選択可。 ◆ 小型かつ軽量で取り扱いが非常に容易。 ◆ 吐出流量は 15L/min、30L/min、60L/min の３機種。
金属部品一切なし！長寿命で脈動が少ないフッ素樹脂製ベローズポンプ
技術資料『ベローズポンプ』は、フッ素樹脂で作られた、 金属部品を使用していないAstipureポンプについて 掲載した技術資料です。 100%プラスティックによりイオンコンタミを排除します。 ベローズが伸長した時に湾曲がなく、結果、ダイヤフラムと 比較して長寿命となります。 液体がベローズの外側を通過するためスラリー粒子は ベローズの溝に溜まりません。 流量制御用の外付けコントローラーは一切不要です。 【掲載内容】 ■Astipureポンプの特長 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高速ストローク化で小型・軽量・ローコスト化を実現
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズは、Max. 240spmの高速ストロークで、小型・軽量・ローコスト化を実現しました。 【特長】 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●ポンプヘッドとベローズは溶接一体構造、液漏れの心配がありません。 ●独自に開発したシャフトシールの採用で、パーティクルの発生が一段と少なくなっています。 ●リークセンサを標準装備。 ●専用コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
最大100L/minが移送可能なエアー駆動フッ素樹脂製大型ベローズポンプ
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズは、高圧（0.6MPa以上）・大流量吐出が必要な薬液供給に最適な半導体プロセスポンプです。 【特長】 ●Max. 100L/minの大流量吐出。 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●ポンプヘッドとベローズは溶接一体構造、液漏れの心配がありません。 ●独自に開発したシャフトシールの採用で、パーティクルの発生が一段と少なくなっています。 ●リークセンサを標準装備。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
低脈動移送が可能で付加追従性が向上！エアー消費量を最大30%削減
イワキエアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズは、独自の駆動メカニズムで低脈動移送を実現したエアー駆動ベローズポンプ。従来品よりもエアー消費量を最大３０％も削減します。 また、ダンパーの組み込みが不要で省スペース。配管作業もカンタンで高価な配管材を減らせるため、トータルコスト削減も可能にします。 【特長】 ●脈動を打ち消す独特の駆動メカニズム。 ●枚葉式洗浄プロセスに適した優れた負荷追従性。 ●ダンパーが不要なので、装置の小型・軽量化に貢献します。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
耐蝕・耐薬品性に高い性能
液洩れのない構造です。 軽量、小型、構造が簡単です。 ドライ運転OK、自吸使用も可能です。 特殊成型のベローズと堅牢な駆動機構により耐久性がよく長期の連続運転にも高い耐久性です。 吐出量調節はポンプ停止中に10〜100％の範囲で可能です。
使用温度、薬液、流用に応じ様々なアプリケーションに適したポンプを提供致します。
White Knight 社製テフロン製薬液供給ポンプは、「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの特長を活かして、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用されております。 使用温度、薬液、流量に応じてお客様のアプリケーションに適したポンプを提供致します。 ◆使用材質：PTFE、PFA、Polypropylone（非接触部分） ◆最高使用薬液温度：210℃、高温薬液での高流量出力可能 ◆流量：20〜110 l/minの3タイプ ◆メンテナンスフリーで一年間の動作保証。 詳しくはお問い合わせください。
【気体用】小型・軽量の標準型シリーズ。サンプリング分析等に適しています！
ACモータ ■小型・軽量 メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特長を生かした容積式ポンプです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用】装置組込用やガスの移送、貯蔵、循環ライン等に適したシリーズです。
ACモータ メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
中型機種になり吐出圧・流量とも用途幅の広いシリーズ。半導体プロセスガス、ヘリウム3等の循環用途で実績があります。
メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 【特長】 ■優れた気密性 リークタイト 1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He) ■コンタミネーション無し 構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない ■高い耐食性 接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン 又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、 接ガス部をALLメタル構造にすることができる ■長寿命 運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで 設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る ※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。
【気体用】シングルヘッドタイプで大流量シリーズ。280kPaまで昇圧可能。各種研究、実験用途での豊富な実績があります。
ACモータ ■ オプションで防爆対応可能です。 メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
