中型機種になり吐出圧・流量とも用途幅の広いシリーズ。半導体プロセスガス、ヘリウム3等の循環用途で実績があります。
メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 【特長】 ■優れた気密性 リークタイト 1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He) ■コンタミネーション無し 構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない ■高い耐食性 接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン 又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、 接ガス部をALLメタル構造にすることができる ■長寿命 運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで 設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る ※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■メンテナンスフリー 注油等メンテナンスは不要 ■腐食性ガスでも対応可 汎用ガスをはじめ、腐食性ガスその他特殊流体等の環境下でも使用可能 ■特殊仕様にも対応可 モータ（防爆、可変速、直流、特殊電圧、軽量仕様等）、 二重構造ベローズ閉込（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更、 ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応 【仕様】 ■最大流量（MB-111）：28.0L/min（60Hz以上） ■最大流量（MB-151）：40.0L/min（60Hz以上） ■最大真空度（MB-111）：-64.0kPaG以下 ■最大真空度（MB-151）：-74.5kPaG以下 ■最大運転圧力（MB-111）：159.0kPaG ■最大運転圧力（MB-151）：275.0kPaG ■電源：単相AC115/230V 50/60Hz 115/230V ■接続：1/4NPTメス ■重量：12.7kg ※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ■ガス分析計、分析機器装置のサンプリング ■原子力発電所、研究用の放射能監視分析機器のサンプリング ■放射性同位体元素の循環、貯蔵システム ■高電圧、電子装置の冷却と導波管の加圧装置 ■高温エンジン排気ガス分析機器 ■大気汚染監視装置のサンプリング ■放射性、有毒、高価ガスの処理工程 ■商用航空機の飲料水加圧 ■半導体プロセスガスの移送、貯蔵 ■エキシマレーザー用ガス精製装置 ■各種研究、実験用途、ガス循環装置他 ※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。
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企業情報
私たちは流体制御機器の開発、製造、販売、輸出入に特化して、お客様のニーズに合わせた商品販売及び最新情報の提供等といった、会社として本来当たり前ではあるが、なかなか実現できなかったきめ細かいサービスを、グループの強力なネットワークにより実践していきます。 ・ISO13485認証取得
