ベント用フィルター ＦＢＡシリーズ
スループットが大幅に向上
半導体製造装置に使用される、(株)ピュアロンジャパン製 ベント用フィルターです。ロードロック室(Load lock chamber) や搬送チャンバー(Transfer chamber)等において、真空破壊を行う際に発生してしまうパーティクルの巻上げや過渡的な乱流の発生は、ウェハーへのパーティクル付着やダメージを与える可能性があります。従来は窒素ガスをゆっくり導入するスローベントを行うことで同現象を防いでおりましたが、Pureronのベント用フィルターを使用することで、スループットが大幅に向上します。
- 企業：株式会社ピー・ジェイ
- 価格：応相談
