加熱工程ウエハホットチャック PH070
最高温度300℃対応！小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。
加熱工程ウエハホットチャック PH070は小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレートです。ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。プレートはアルミ合金、黒アルマイト処理、レザーマーキングによるガイド表示、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
