最高温度300℃対応！小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。
加熱工程ウエハホットチャック PH070は小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレートです。ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。プレートはアルミ合金、黒アルマイト処理、レザーマーキングによるガイド表示、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○最高温度300℃対応 ○小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート ○ウエハホットチャック・ホットステージ ○前工程、アセンブリ工程、評価・分析プロセスに ○既存ステージなどに増設可能です ○ウエハ（基板）サイズ50~70mm ○温度範囲 、メカインターフェース各種対応いたします ○OEM対応品 ○圧力計、真空切り替えバルブ付など豊富な品揃え 【仕様】 ○温度制御範囲：室温～300℃ ○チャック面サイズ：70×70mm ○温度精度：±1.5％ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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