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透過膜のエッチングや成膜のIn-situでの膜厚モニターに！スポットサイズ100μm
『SLI 670』は、波長が670/980nmのプラズマ装置用 エンドポイントモニターです。 プラズマ装置の上部の窓からレーザービームを照射し サンプルからの反射光を測定し膜厚を測定します。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■波長：670/980nm ■スポットサイズ：100μm ■モーター駆動ステージ ■反射率、干渉モード ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超高性能エンドポイント検出システム 検出困難だったイオンミリングプロセスに対応した光学式エンドポイント検出システム
エッチャー内のプロセスによる発光をリアルタイムに モニタリングすることができます。 CCDセンサを搭載し、200-800nmの波長領域をサポート、 UV領域の感度が高く、 検出困難だった微細な変化でも捉える分光計を備えています。 さらに、真空フィードスルーオプションで イオンミリングプロセスにも対応します。 Verity社製光学式エンドポイントモニターは 真空中のサンプル近傍にフレキシブルチューブによる測定受光部を設置。 エッチング/ミリングプロセス中の材料発光を計測することで、 膜厚と膜種の経時変化を取得します。 【特徴】 ◼ 強力な終点決定能力 ◼ 専用高機能 SpectraViewTM ソフトウェアを使用 ◼ 終点検出、障害検知、プロセス診断が可能 ◼ 200 – 800 または 900nm の波長範囲 ◼ 更に広帯域の波長計測オプションあり ◼ RoHS 指令対応
