超高性能エンドポイント検出システム 検出困難だったイオンミリングプロセスに対応した光学式エンドポイント検出システム
エッチャー内のプロセスによる発光をリアルタイムに モニタリングすることができます。 CCDセンサを搭載し、200-800nmの波長領域をサポート、 UV領域の感度が高く、 検出困難だった微細な変化でも捉える分光計を備えています。 さらに、真空フィードスルーオプションで イオンミリングプロセスにも対応します。 Verity社製光学式エンドポイントモニターは 真空中のサンプル近傍にフレキシブルチューブによる測定受光部を設置。 エッチング/ミリングプロセス中の材料発光を計測することで、 膜厚と膜種の経時変化を取得します。 【特徴】 ◼ 強力な終点決定能力 ◼ 専用高機能 SpectraViewTM ソフトウェアを使用 ◼ 終点検出、障害検知、プロセス診断が可能 ◼ 200 – 800 または 900nm の波長範囲 ◼ 更に広帯域の波長計測オプションあり ◼ RoHS 指令対応
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基本情報
・基本情報 コントロールはUSB/Ethernetをデータ転送I/Fとしてサポートしており、 ネットワーク経由でスペクトルデータを取得することもできます。 また、付属のSpectraViewソフトウェアでは、採取したスペクトルデータをモニタリング、解析を行い、Verity社独自のエンドポイントトレース生成など優れたアルゴリズムが微細プロセスをサポートします。 価格 お問い合わせください 納期お問い合わせください 型番・ブランド名SD1024GH (Verity Instruments社) 用途／実績例 プラズマエッチング MEMsエッチング イオンミリング 反応性スパッタコントロール
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用途／実績例 プラズマエッチング MEMsエッチング イオンミリング 反応性スパッタコントロール
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企業情報
当社は1988年に真空薄膜製造装置の海外輸出商社としてスタートし、今日まで「真空技術のトータルプランナー」として、業容を拡大してまいりました。 この間、光学薄膜材料への展開、さらにはイオンビームプロセスや冷凍機(サップコールド)の販売に力点を置き活動をしてまいりました。 また、新たに次世代のナノ加工分野の重要な技術として期待されている、GCIB（ガスクラスターイオンビーム）プロセス装置を開発し、市場に投入する事になりました。 眼鏡やカメラレンズからスタートして、いまではデジタルカメラや携帯電話、医療用レンズを始め、光関連産業では新しい媒体が続々と生まれています。