0.1 nm分解能 ナノポジショニングステージ P-752
最大35 µmストローク×0.1 nm分解能、耐荷重10Nの高速ピエゾステージ
P-752は、2電極型の静電容量式センサを内蔵したフレクシャガイド構造により、摩擦ゼロで、優れた真直度（Pitch, yaw error ±１μrad）をもち、Openloop分解能は0.1nmという優れた1軸ナノポジショニングステージです。 また内蔵の静電容量センサーは、実可動部分を非接触でサブナノレベルで実測するため、より高いリニアリティとヒステリシス補正し、長期安定性を実現させます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
