最大35 µmストローク×0.1 nm分解能、耐荷重10Nの高速ピエゾステージ
P-752は、2電極型の静電容量式センサを内蔵したフレクシャガイド構造により、摩擦ゼロで、優れた真直度（Pitch, yaw error ±１μrad）をもち、Openloop分解能は0.1nmという優れた1軸ナノポジショニングステージです。 また内蔵の静電容量センサーは、実可動部分を非接触でサブナノレベルで実測するため、より高いリニアリティとヒステリシス補正し、長期安定性を実現させます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
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基本情報
・分解能0.1nm、高速応答 ・ストローク～35μm ・静電容量センサーによる高リニアリティ ・フレクシャガイドにより摩擦のない直進性の高い動きを実現 ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
応用例 ・ディスクドライブ検査 ・各種計測 ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・フォトニクス／光集積回路 ・干渉計 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
