最大35 µmストローク、最小0.1 nm分解能のナノポジショニング
ナノテクノロジー分野における構造作製や評価では、ナノメートルレベルの位置決め分解能と高い再現性が求められます。P-752は、最大35 µmのストロークと最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾフレクシャステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作と高い真直度を実現します。ナノスケールでの位置決め制御が求められる研究開発用途において、安定した微小変位制御を提供します。 【活用シーン】 ・ナノ構造作製における微小位置決め ・走査型プローブ顕微鏡（SPM）のサンプル／プローブ位置制御 ・微細加工プロセスにおける精密アライメント ・ナノ材料評価・表面解析 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・微小変位制御の安定化
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基本情報
【特長】 ・分解能0.1nm、高速応答 ・ストローク～35μm ・静電容量センサーによる高リニアリティ ・フレクシャガイドにより摩擦のない直進性の高い動きを実現 ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績を持つPI社の日本法人として、お客様のニーズに合わせた最適なナノポジショニングソリューションを提供します。ピエゾステージをはじめ、幅広い製品ラインナップと、長年の経験に基づいた技術サポートで、お客様の研究開発を支援します。
価格情報
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納期
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用途／実績例
応用例 ・ディスクドライブ検査 ・各種計測 ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・フォトニクス／光集積回路 ・干渉計 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション
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企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッドなどの位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に総合的なソリューションを提供しています。是非ご覧下さい。
