0.3nm分解能と高速応答を実現する高剛性ピエゾZステージ
P-733.Zは、ナノメートルレベルの分解能と高速応答性能を兼ね備えた高剛性ピエゾZナノポジショニングステージです。100µmのトラベルレンジと50×50mmのクリアアパーチャを備え、顕微鏡やマスク／ウェハの位置決め用途などに適しています。 非接触の静電容量センサーにより、サブナノメートル分解能の計測が行えます。また、最大0.3nmの分解能と高い繰り返し精度を実現。フレクシャガイド構造により摩耗やバックラッシュがなく、長期にわたり安定した高精度位置決めが可能です。 PI独自のPICMA(R)アクチュエータを採用しており、従来のポリマー絶縁アクチュエータと比較して最大10倍の長寿命を実現します。
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基本情報
駆動方式：PICMA(R)多層ピエゾアクチュエータ ・移動方向：Z軸 ・トラベルレンジ：100µm ・分解能：0.3nm ・センサー：静電容量センサー（直接位置計測） ・ガイド構造：フレクシャガイド（摩耗レス・バックラッシュレス） ・クリアアパーチャ：50 × 50 mm ・高ダイナミクス設計 非接触静電容量センサーによる直接位置計測により、ナノメートル以下の分解能と高い繰り返し精度を実現しています。PICMA(R)ピエゾアクチュエータの採用により、高速応答と長寿命を両立。高剛性構造のため、高速Zスキャンや精密フォーカス制御など高ダイナミクス用途に対応します。 ※詳細仕様（共振周波数、耐荷重、コントローラ構成など）は、製品カタログをご覧になるか、お問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
・走査型顕微鏡 ・共焦点顕微鏡 ・マスク／ウェハ位置決め ・表面計測技術 ・ナノインプリント ・マイクロマニピュレーション ・画像処理／安定化 ・ナノポジショニング
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
