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半導体製造装置向け 真空でも使用可能+高精度
Temposonics アブソリュートリニア変位センサは、劣悪な環境下でも高速応答性能、正確性、耐久性を兼ね備えています。世界の多くのメーカーが、消費電力、CO2削減、コスト低減の為、機械を効率良く動作させ、サイクルタイムを短く、また、ダウンタイムをゼロにする必要があります。そのため、Temposonicsが提案する、高性能で振動、衝撃に強く、水、埃、油による精度への影響がない、メンテナンスフリーの高信頼性リニア変位センサを採用しています。 【半導体、液晶、有機EL等の真空チャンバー内の搬送装置に】 センシングロッド部（最大20m）を真空中に設置し、ワーク側には、マグネットを取り付け、正確な位置（分解能1μm）を複数個所（最大30箇所）で同時計測。真空専用の特殊なケーブル、読み取り機等高価な部品を使用する必要なく、また、取り付け精度を必要としない為、価格のみならず、工数も含めた大幅なコスト削減が可能です。
非接触型で高耐久・高精度なポジションセンサー！
Piher社（ピアー社）のインダクティブセンサーは非接触型のポジションセンサーです。 このセンサーは誘導コイルと金属ターゲットの誘導の原理を利用しているため、レゾルバのような複雑な内部構造を必要としません。誘導コイルは外部磁場の影響をほとんど受けないため、レゾルバ大型の遮蔽シールドが不要となり、小型軽量化を実現しています。 また、レゾルバではブラシとスリップリングを使用しているため、摩耗や不具合が発生する可能性がありますが、Piher社のインダクティブセンサーは非接触で検出するため、摩耗が発生せず、メンテナンスフリーで長期間にわたる安定した精度を提供可能です。 出力に追加の回路や処理が不要なアナログ出力を使用しているため、センサー単体で簡単なシステムをい構築できるほか、出力処理時のノイズや遅延の影響も受けにくくなっております。 高速回転にも対応でき、60万rpmまでの回転速度であれば正確な検出が可能です。
ステンレステープにより、ワイヤの3.5倍の強度。建機等過酷な環境にも好適。
ASM社『ポジテープ』は、ポジワイヤと同じ原理を利用した位置センサで、 ワイヤの代わりにステンレステープを使用しています。 このステンレステープは非常に堅牢で(ワイヤの3.5倍の引張り強度)、センサの 取付けスペースが限られているようなアプリケーションで、プーリーを使用して センサを取付けることが可能です。 衝撃、振動に強く、非常に厳しい環境で使用することができます。 【特長】 ■ステンレステープの消耗(摩滅等)が非常に少ない ■堅牢 ■小型 ■リニアリティ 最高0.05％ ■検出距離：25 000mmまで ■テープの引張り強度はワイヤの3.5倍 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
