半導体製造装置向け 真空でも使用可能+高精度
Temposonics アブソリュートリニア変位センサは、劣悪な環境下でも高速応答性能、正確性、耐久性を兼ね備えています。世界の多くのメーカーが、消費電力、CO2削減、コスト低減の為、機械を効率良く動作させ、サイクルタイムを短く、また、ダウンタイムをゼロにする必要があります。そのため、Temposonicsが提案する、高性能で振動、衝撃に強く、水、埃、油による精度への影響がない、メンテナンスフリーの高信頼性リニア変位センサを採用しています。 【半導体、液晶、有機EL等の真空チャンバー内の搬送装置に】 センシングロッド部（最大20m）を真空中に設置し、ワーク側には、マグネットを取り付け、正確な位置（分解能1μm）を複数個所（最大30箇所）で同時計測。真空専用の特殊なケーブル、読み取り機等高価な部品を使用する必要なく、また、取り付け精度を必要としない為、価格のみならず、工数も含めた大幅なコスト削減が可能です。
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基本情報
【特長】 1. 高分解能1μm +高精度位置検出 2. 高速応答性能 10kHzを実現 3. ノイズリダクション 4. 耐振動 30G 5. 非接触で摩擦がなく、水、油、埃に強い 6. アブソリュート（絶対位置計測、原点復帰不要）
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用途／実績例
半導体、液晶、有機EL等の真空チャンバー内の搬送装置
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企業情報
Temposonicsは1970年初めに位置計測に磁歪効果（ウィーデマン効果）を使い、今までインクリメンタルが主流だった位置計測に非接触かつ高精度で安価な非接触アブソリュートセンサ方式を市場に投入しました。 磁歪センサのリーディングカンパニーとして、産業界のニーズに応える為、位置センサ・ポジションセンサとしての精度向上、研究開発、品質向上に取り組んでおり、これからもロータリーエンコーダ・リニアエンコーダ・ポテンショメータに代わるリニアセンサとして、油圧、空圧、水圧だけでなく、射出成形、溶接、印刷、繊維、建設機械、風力発電、金属加工等の産業界、地滑りセンサ、橋梁センサ等の災害防止センサ向けに採用されております。 Temposonicsは、今後益々の発展を続け、産業向けセンサのリーディングカンパニーとして皆様のお役に立てるように、日夜努力してまいります。
