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半導体製造装置向け 真空でも使用可能+高精度
Temposonics アブソリュートリニア変位センサは、劣悪な環境下でも高速応答性能、正確性、耐久性を兼ね備えています。世界の多くのメーカーが、消費電力、CO2削減、コスト低減の為、機械を効率良く動作させ、サイクルタイムを短く、また、ダウンタイムをゼロにする必要があります。そのため、Temposonicsが提案する、高性能で振動、衝撃に強く、水、埃、油による精度への影響がない、メンテナンスフリーの高信頼性リニア変位センサを採用しています。 【半導体、液晶、有機EL等の真空チャンバー内の搬送装置に】 センシングロッド部（最大20m）を真空中に設置し、ワーク側には、マグネットを取り付け、正確な位置（分解能1μm）を複数個所（最大30箇所）で同時計測。真空専用の特殊なケーブル、読み取り機等高価な部品を使用する必要なく、また、取り付け精度を必要としない為、価格のみならず、工数も含めた大幅なコスト削減が可能です。
厳しい環境下でも位置検出
トンネルボーリングマシンは驚くべきものです。16メートルを超える巨大なドリルヘッドが、岩や土を頑強に貫通していきます。このような掘削プロセスでは、機械とそのコンポーネントが、衝撃、振動、激しい温度変化などの信じられないほどのストレスにさらされます。これらの厳しい要求に耐えるために、各コンポーネントは非常に堅牢でなければなりません。ワークプロセスをさらに最適化するには、データを確実に切り離す必要があります。これらの条件下で正確な位置計測を行うための適切なセンサソリューションはTemposonicsによって提供されます。 新しいRシリーズVセンサは非常に堅牢で、Industry 4.0に対応しています。新しいIndustry 4.0機能は、純粋なプロセスデータ(位置/速度)に加えてプロセスに関する追加情報を提供するため、ユーザに独自の利点を提供します。ステータスおよび統計データは、アプリケーション内のプロセスをよりよく理解するために操作中に記録および処理されます。
