ロータリーポンプコントロールシステム
ポンプで節電、高真空装置の設置場所を静かで快適な環境に
"ロータリーポンプをコントロールすることにより、消費電力・振動・ 発熱量・音響ノイズを低減させる製品です。 多くの高真空装置では、高真空ポンプの粗引きとしてロータリー ポンプが終夜運転されております。しかし、装置内が高真空に 到達した後では、アウトガスは極少量になります。 このシステムでは、ロータリーポンプと高真空ポンプの間に バッファーチャンバーを入れ、その真空度をモニターすることにより、装置内は高真空に保ちながら、ロータリーポンプを間欠的に 運転・停止させます。"
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：応相談
