ポーラスチャック(コア) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

ポーラスチャック【加工機・検査ステージ】

加工機・検査装置のステージや搬送用途に

ポーラスチャックとは、表面のポーラス（多孔質）構造と負圧を利用することによってウェハーやガラスといった薄い対象物を保持する吸着ツールの一種です。「ポーラスチャック」のほか、「ポーラスバキュームチャック」、「多孔質真空チャック」などとも呼ばれ、加工機や検査装置のステージ、また搬送用の吸着パッドとしても活用され、さまざまなものづくりの現場でスタンダードなツールとなっています。 クリエイティブテクノロジーでは、コア技術である「静電チャック」だけに留まらず、吸着に関わるワンストップソリューションの提供を目指し、ポーラスチャックの開発・製造・販売も行っています。