加工機・検査装置のステージや搬送用途に
ポーラスチャックとは、表面のポーラス（多孔質）構造と負圧を利用することによってウェハーやガラスといった薄い対象物を保持する吸着ツールの一種です。「ポーラスチャック」のほか、「ポーラスバキュームチャック」、「多孔質真空チャック」などとも呼ばれ、加工機や検査装置のステージ、また搬送用の吸着パッドとしても活用され、さまざまなものづくりの現場でスタンダードなツールとなっています。 クリエイティブテクノロジーでは、コア技術である「静電チャック」だけに留まらず、吸着に関わるワンストップソリューションの提供を目指し、ポーラスチャックの開発・製造・販売も行っています。
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基本情報
製品のおもな特長 １）ミクロンサイズの気孔で吸着するため均一な吸着ができる 一般的な真空チャック（バキュームチャック）は薄く繊細な対象物の場合には局所的に働く吸引力によって対象物が変形したり、吸着痕が残ったりするなどデメリットもあります。一方、ポーラスチャックはミクロンサイズの気孔が全面に広がっているため、均一な吸着が可能となり、対象物の変形や吸着痕によるトラブルを軽減することができます。 ２）全面を対象物で覆わなくても吸着できる ポーラスチャックは綿密な気孔が全面に広がっているため、エアーの漏れが発生しづらく、対象物のサイズがポーラスチャックよりも多少小さいような場合でも、吸着力の低下を抑えることができます。対象物の性質等をヒヤリングしながら、最適な活用方法もアドバイスいたします。 ３）湿式環境でも使用できる 液体を使用する加工工程や対象物が濡れている場合でも使用できるよう設計しています。 ４）オーダーメイド設計にも対応 用途に合わせたオーダーメイドの設計・製作が可能です。形状、寸法、厚み、吸着対象物の種類、ボディ材料など、お気軽にご相談ください。
価格帯
納期
用途／実績例
おもな用途 ・機械加工時の板状対象物の固定に 平面研削盤、ロータリー研磨機、ラップ加工機など ・各種検査時の板状対象物、フィルム等の固定に 外観検査装置、画像検査装置、二次元測定器や三次元測定機など ・板状対象物、フィルム等の搬送に
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企業情報
1985年、脆性材料であるファインセラミックスの加工技術開発からクリエイティブテクノロジーはスタートしました。 1990年代には、その加工技術をコアとして、半導体製造装置向け静電チャックの開発に成功し、さらに2000年代前半には、それまで培ってきた静電チャックの開発製造技術をもとに静電チャックの再生事業を立ち上げ、世界中のお客様とのつながりを構築しました。 そして現在、私たちは半導体業界で利用されてきた技術をさまざまな形に進化させ、付加価値の高い静電吸着応用製品の開発に取り組んでいます。 クリエイティブテクノロジーは、モノとモノをくっつける技術で、あらゆる分野の省力化・IoT化に貢献していきます。 サンプルをお預かりできる場合は、弊社での吸着テストもおこなっております。まずはお気軽にご相談ください。
