新発想のケーブルレス静電チャック
静電キャリアとは、ケーブルレスでの対象物吸着を実現し、搬送工程の簡略化・効率化を図るツールです。 一般的な静電チャックは電圧供給時に対象物を吸着し、電圧を遮断すると対象物が外れる仕組みのため、使用する際は静電チャック本体を常時電源に接続しておかなければなりません。すなわち、長距離の搬送、大気環境から真空チャンバーへの移動、回転機構での使用など用途によっては適さないケースも存在します。 一方、静電キャリアは静電チャックの特長を応用した新しい吸着方式であり、対象物の脱着時にこそ電源との接続を必要とするものの、吸着を維持する際には電圧供給を必要としないため、電源から切り離して使用することが可能です。静電キャリアは、これまで両面テープやクランプ方式が採用されていた工程の自動化・効率化・ランニングコスト削減に貢献します。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
おもな特長 １）従来の静電チャックの技術を応用し、ケーブルレスでの吸着搬送を可能に。 ２）エアーの移動をともなわない静電吸着のため、吸着状態で大気環境⇔真空チャンバーへの移動が可能。 ３）損傷しやすい薄物のガラスやウェハーや金属箔をはじめ、フィルムや紙などさまざまな素材への適用が可能。
価格帯
納期
用途／実績例
組み立て・搬送工程の吸着ステージとして、ケーブルレスで対応。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
1985年、脆性材料であるファインセラミックスの加工技術開発からクリエイティブテクノロジーはスタートしました。 1990年代には、その加工技術をコアとして、半導体製造装置向け静電チャックの開発に成功し、さらに2000年代前半には、それまで培ってきた静電チャックの開発製造技術をもとに静電チャックの再生事業を立ち上げ、世界中のお客様とのつながりを構築しました。 そして現在、私たちは半導体業界で利用されてきた技術をさまざまな形に進化させ、付加価値の高い静電吸着応用製品の開発に取り組んでいます。 クリエイティブテクノロジーは、モノとモノをくっつける技術で、あらゆる分野の省力化・IoT化に貢献していきます。 サンプルをお預かりできる場合は、弊社での吸着テストもおこなっております。まずはお気軽にご相談ください。
