クリーン度の維持に貢献！半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用されています
『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、 可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 【特長】 ■クリーンデバイス ■低ダメージ ■真空下でも使用可能 ■低消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【カスタマイズ仕様例(オプション)】 ■電極最適化 ■高温対応 ■表面処理 ■メンテナンス/修理 ■大型化 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体製造工程やディスプレイ製造工程での基板の把持 （搬送用、貼り合せ用、検査/測定用、温度制御用、その他） ■真空チャックやベルヌーイチャックでは困難な薄く変形しやすい製品の把持 （搬送用、貼り合せ用、検査/測定用、温度制御用、その他） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
詳細情報
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静電チャックおよび制御用電源のデモ機を常備しておりますので、お気軽にお問い合わせください。ワークサンプルをお送りいただく場合や当方からデモにお伺いする場合など、お客様のご希望に応じて対応させていただきます。
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1000ｍｍを超えるような、大面積ワークの搬送にも導入が進んでいます。自動化・省人化に初めて取り組まれるお客様には、ロボット・電源とあわせた一括提案も可能です。
カタログ（6）
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企業情報
1985年、脆性材料であるファインセラミックスの加工技術開発からクリエイティブテクノロジーはスタートしました。 1990年代には、その加工技術をコアとして、半導体製造装置向け静電チャックの開発に成功し、さらに2000年代前半には、それまで培ってきた静電チャックの開発製造技術をもとに静電チャックの再生事業を立ち上げ、世界中のお客様とのつながりを構築しました。 そして現在、私たちは半導体業界で利用されてきた技術をさまざまな形に進化させ、付加価値の高い静電吸着応用製品の開発に取り組んでいます。 クリエイティブテクノロジーは、モノとモノをくっつける技術で、あらゆる分野の省力化・IoT化に貢献していきます。 サンプルをお預かりできる場合は、弊社での吸着テストもおこなっております。まずはお気軽にご相談ください。
