1000℃以上の超高温でも優れた寸法安定性と温度再現性を実現！先端技術使用のＰＢＮとＰＧの複合体
Momentiveの『PBNヒータ』と『高温静電チャック(ESC)』は、 電気絶縁性の熱分解窒化硼素（PBN）と導電体である熱分解黒鉛（PG） の先端技術を使用した複合体です。 高純度で、高温下でも脱ガスが非常に少ない特長は、 高温での化学的気相蒸着から生み出されています。 高い熱伝導性と異方性は優れた面内均熱性をもたらしています。 【特長】 ■超高温対応（1500℃） ■寸法安定性と電気的安定性 ■ヒータ面内で温度勾配をつけることができる ■急速昇降温に対応 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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基本情報
【利点】 ■1500℃以上でも使用可能 ■超高真空中でアウトガスが少ない ■多くの腐食性ガス・液体に対して不活性 ■多くの溶融金属に浸食されない ■長寿命 ■異方性結晶構造による優れた機械特性と耐熱衝撃性 ■安定した温度再現性、および優れた均熱特性 ■小さい熱容量による高速熱応答性 ■ヒータ一体型の静電チャックも可能 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■真空プロセス用ヒータ ■エピタキシャル/イオン注入プロセス用ヒータ ■ガラス加工用ヒータ（レンズ・基板など） ■強誘電体・超電導基板プロセス ■分析機器用ヒータ ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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企業情報
モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社は、高熱伝導ヒートシンク、ヒータ/静電チャック、セラミックス製品、耐腐食/耐熱コーティングの開発、製造、販売を行っています。また、石英製品やシリコーン製品なども多数取り扱っております。ご用命の際には、お気軽にお問い合わせ下さい。
