マガジン加熱装置
昇温時の温度分布が極めて安定し、昇温時間が短い!コンパクトな設計を実現
『マガジン加熱装置』とは、半導体製造工程にて使用するマガジンを そのままアニールやキュアできるように開発された装置です。 非常にコンパクトで状況に応じて複数台使用することも容易な大きさ。 ブログラム可能な温度調節器を使用することにより、ステップキュアも 可能です。 【特長】 ■非常にコンパクト ■状況に応じて複数台使用することも容易な大きさ ■昇温時の温度分布が極めて安定し、昇温時間が短い ■ブログラム可能な温度調節器を使用することによりステップキュアも可能 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社九州日昌
- 価格:応相談