昇温時の温度分布が極めて安定し、昇温時間が短い！コンパクトな設計を実現
『マガジン加熱装置』とは、半導体製造工程にて使用するマガジンを そのままアニールやキュアできるように開発された装置です。 非常にコンパクトで状況に応じて複数台使用することも容易な大きさ。 ブログラム可能な温度調節器を使用することにより、ステップキュアも 可能です。 【特長】 ■非常にコンパクト ■状況に応じて複数台使用することも容易な大きさ ■昇温時の温度分布が極めて安定し、昇温時間が短い ■ブログラム可能な温度調節器を使用することによりステップキュアも可能 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■加熱ステップ数：任意に可変可 ■最高使用温度：ワーク温度にて250℃ ■保持温度条件：マガジン内ワーク 100～250±5℃以内 ■対象マガジン：W70×L230×H200 ■マガジン収納数：1 ■炉内寸法：W80×L300×H220 ■加熱方式：遠赤外線加熱+熱風加熱方式 ■電源電圧：三相200V3kVA ■設備寸法：W450×L700×H530 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
企業情報
多様な分野の製品における製造工程で、貴重な役割を果たす加熱工程。 私たちはその技術を駆使してお客様をサポートし、新たな付加価値の創造を目指しています。 【九州日昌の均熱技術により、このような効果をお約束いたします】 ■歩留りの解消 歩留り解消により、製造コストを削減 ■設備の省スペース化 設備縮小により工場の限られたスペースを有効活用 独自の「均熱技術」を活用した各種電熱機器及び装置の設計・製作を行っています。