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マスフローコントローラ(システム) - メーカー・企業と製品の一覧

マスフローコントローラの製品一覧

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デジタルマスフローコントローラ『Aera FC-DR980』

優れた性能、運用汎用性、簡単な操作性を兼ね備え、大幅なコスト削減に寄与します

『Aera FC-DR980』は、優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する デジタルマスフローコントローラです。 高品質の電子部品と耐久性に富む設計により、過酷な操作に耐え、1年以上 経過してもフルスケール流量の0.5%以下という優れた長期的ゼロドリフト 安定性を発揮します。 【特長】 ■アナログ、アナログ/デジタル、デジタルのモード選択可能 ■ピエゾ制御バルブ ■各種のアラーム/診断機能 ■使用ガスおよび流量レンジの選択可能  ※マルチガス・マルチレンジ仕様モデルにより対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』

設定値入力後1秒未満で流量安定!高精度・高信頼のメタルシールモデル!

『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。 主要なガス制御アプリケーションに適しています。 ⾼感度、⾼速応答性の⼩型センサーを搭載するなど技術の進歩により、 優れた制御性を発揮します。 【特長】 ■耐腐食設計 ■メタルシール採用 ■VCR、Swagelok互換の接続部 ■10sccm~200slmのフルスケール流量レンジ ■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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