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次世代PI技術！圧力の影響を受けにくいIGS方式対応のマスフローコントローラ
『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を 予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー コントローラです。 優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、 生産歩留まりを改善します。 また、実ガスによる精度検証済みで、マルチガス・マルチレンジにも 対応します。 【特長】 ■プレッシャーインセンシティブ（圧力の影響を受けにくい）制御が可能 ■高い計測精度と再現性 ■IGS方式対応 ■実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応 ■フィールドでのプログラムが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術
この画期的な技術プラットフォームは、従来の技術と比べて、応答性、ガス流量安定性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによって、従来型の製品に使われていたハイコストなガスパネル部品の必要性を減少します。また、マルチガス・マルチレンジ機能により、予備在庫の必要性が劇的に減り、コスト効率の改善にいっそう貢献します。 この次世代MFC技術は、統合診断機能に加え、フィールドですでに実績のある当社のD980シリーズ製品のプラットフォームと組み合わせたことで、装置稼働時間を向上させるとともに、迅速かつ容易なトラブルシューティングを実現します。
