次世代PI技術！圧力の影響を受けにくいIGS方式対応のマスフローコントローラ
『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を 予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー コントローラです。 優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、 生産歩留まりを改善します。 また、実ガスによる精度検証済みで、マルチガス・マルチレンジにも 対応します。 【特長】 ■プレッシャーインセンシティブ（圧力の影響を受けにくい）制御が可能 ■高い計測精度と再現性 ■IGS方式対応 ■実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応 ■フィールドでのプログラムが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■DeviceNet、RS-485、アナログコントロール ■ディスプレイ搭載 ■自己診断機能内蔵 ■100％メタルシール、高純度仕様 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体製造プロセス・各種検査／分析機器・内燃機関・成膜装置・燃料電池 液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品
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企業情報
私たちは、流体制御機器の開発、製造、販売、輸出入に特化してお客様のニーズに合わせた商品販売及び最新情報の提供等といった、会社として本来当たり前ではあるが、なかなか実現できなかったきめ細かいサービスを、グループの強力なネットワークにより実践していきます。 ・ISO13485認証取得