非常に小さな差圧で計測し、圧力損失が非常に小さく、低圧で使用する環境に最適なマスフローコントローラー。現在納期約4週間。
『MCW/MCRWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した「MCS/MCRSシリーズ」、などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから1000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■MC/MCP/MCRシリーズ（標準タイプ） ■MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MCQ/MCRWシリーズ（高圧タイプ） ■MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載） ■MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（4）
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
■高性能マスフローメーター／コントローラー M/MCシリーズ ■低圧力損失マスフローメーター／コントローラー MW/MCWシリーズ ■腐食性ガス・冷媒ガス対応マスフローメーター／コントローラー MS/MCSシリーズ ■本質安全防爆仕様マスフローメーター／コントローラー IS-Maxシリーズ ■液体用フローメーター ／コントローラー L/LC/LCRシリーズ ■真空用シャットオフバルブ搭載MCV/MCVSシリーズ ■SEMI規格対応バルブ内蔵タイプMCE／MCESシリーズ ■デュアルバルブMCD/MCRDシリーズ ■圧力計／圧力コントローラーP/PC/PC3/PCD/PCRシリーズ ■本質安全防爆仕様 圧力計／圧力コントローラー IS-Proシリーズ ■熱式流量計 小型マスフローコントローラーBASISシリーズ ■バイオリアクター向け高精度フローコントロールBIOシリーズ ■コリオリ高圧低流量高精度フローコントローラーCODAシリーズ