明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術
この画期的な技術プラットフォームは、従来の技術と比べて、応答性、ガス流量安定性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによって、従来型の製品に使われていたハイコストなガスパネル部品の必要性を減少します。また、マルチガス・マルチレンジ機能により、予備在庫の必要性が劇的に減り、コスト効率の改善にいっそう貢献します。 この次世代MFC技術は、統合診断機能に加え、フィールドですでに実績のある当社のD980シリーズ製品のプラットフォームと組み合わせたことで、装置稼働時間を向上させるとともに、迅速かつ容易なトラブルシューティングを実現します。
![mass-flow-pi980-ph02[1].jpg](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/ba7/2000254708/IPROS6448451528859536332.jpg?w=448&h=448)
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基本情報
特長 ・プレッシャーインセンシティブ（圧力の影響を受けにくい）制御が可能 ・高い計測精度と再現性 ・IGS方式対応 ・実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応 ・フィールドでのプログラムが可能 ・DeviceNet、RS-485、アナログコントロール ・ディスプレイ搭載 ・自己診断機能内蔵 ・100％メタルシール、高純度仕様
価格帯
納期
用途／実績例
半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションなど
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企業情報
平素は格別のご高配を賜りありがとうございます。1964年にトキコ株式会社（現日立オートモティブシステムズ株式会社）と長野計器株式会社との共同出資によりトキコ圧力計株式会社として設立されて以来、1978年にトキコナガノ商事株式会社、2001年にトキコナガノ株式会社として、一般産業機器から鉄道車両、事務用品、家電、医療機器、インフラ関連産業等、幅広い分野にて、常に成長を続け、50周年を迎えられましたのもひとえに皆様のご支援の賜物でございます。そして2015年、日立オートモティブシステムズ株式会社、長野計器株式会社の製品を核としながらも、日立グループの一員として、安心・安全・快適な暮らしの創造をめざし、あらゆる産業、製品、サービスへ挑戦すべく、日立オートモティブシステムズ＆ナガノ株式会社として生まれ変わりました。今後は従来の核となる製品に加え、商社機能の拡大とエンジニアリング機能の充実による総合流通企業としてお客様から信頼される企業をめざし、ご満足を頂けるようなシステム提案に努めてまいりますので、なお一層の厳しいご指導と温かいご支援を賜りますようよろしくお願い申し上げます。