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マルインプリント装置×株式会社ライズワン - 企業1社の製品一覧

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【半導体製造装置関連】ミニマルインプリント装置

モールドをワークに転写する装置。 つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置

・表裏アライメントマーク用光学系500万画素カメラ。 ・オリフラ用光学系200万画素カメラ。 ・XYZアライメント軸分解機能0.1µ。 ・θ軸分解機能8秒。

  • その他半導体製造装置

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