【半導体製造装置関連】ミニマルインプリント装置
モールドをワークに転写する装置。 つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置
・表裏アライメントマーク用光学系500万画素カメラ。 ・オリフラ用光学系200万画素カメラ。 ・XYZアライメント軸分解機能0.1µ。 ・θ軸分解機能8秒。
- 企業:株式会社ライズワン
- 価格:応相談
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モールドをワークに転写する装置。 つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置
・表裏アライメントマーク用光学系500万画素カメラ。 ・オリフラ用光学系200万画素カメラ。 ・XYZアライメント軸分解機能0.1µ。 ・θ軸分解機能8秒。