ミクロ検査(ラインセンサ) - 企業1社の製品一覧

半導体ウエハ端面　ミクロ検査

回転させたウエハ端面(エッジ)をラインセンサで撮影し、数ミクロンオーダーの微細な欠陥を検出するシステム。

回転させたウエハ端面(エッジ)をラインセンサで撮影し、数ミクロンオーダーの微細な欠陥を検出するシステムです。１ＧＢを超えるような巨大な画像にも対応します。

• 企業：株式会社横浜総合研究所
• 価格：応相談

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