イオンミリング装置による受託サービス｜JTL
機械研磨では潰れて観察できない構造をきれいに面仕上げします。
イオンミリング装置とは試料の表面に非常に弱いアルゴンイオンビームを照射することで、観察・分析用の研磨・エッチングを行う断面研磨装置です。 従来の機械研磨では、銅やアルミ材などの軟質材では研磨面が潰れたり、ダレが発生し、セラミックやシリコンなどの硬質材では割れやクラックが発生しましたが、イオンミリング装置ではこれらの問題を解消し、きれいで損傷のない観察面が得ることができます。 イオンミリング装置は、微小領域の高倍率観察・分析を行う試料加工に適しており、サブミクロンオーダーでの観察や、EDX・WDX分析、結晶状態の観察や結晶方位解析(EBSD)などの断面試料を作製することが可能です。
- 企業：JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社
- 価格：応相談
