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メタルシール(真空) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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三菱電線工業のメタルシール「サンリーメス」シリーズ

高機能メタルシール!!各種真空機器、半導体製造装置などに最適!

●機器仕様の多様化に伴い、従来のゴム材料や樹脂材料を用いたシールでは、その材料特性から使用に耐えられない場合が増えてきています。 ●このような場合、メタルOリングに代表されるメタルシールが選択されていますが、締付力が大きい、復元量が小さいという弱点から、ゴム材料や樹脂材料を用いたシールからの置き換えは容易にはできません。 ●これらの問題を解決するため、メタルシールとしての長所を持ちながら、小さな締付力で大きな復元量を有する全く新しいメタルシール『サンリーメス(R)』を開発しました。

  • 酸化/拡散装置
  • CVD装置
  • シール・密封

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