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三菱電線工業のサンリーメスシリーズ

最終更新日:2017年01月27日

三菱電線工業株式会社
三菱電線工業株式会社
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高機能メタルシール!!各種真空機器、半導体製造装置などに最適!

●機器仕様の多様化に伴い、従来のゴム材料や樹脂材料を用いたシールでは、その材料特性から使用に耐えられない場合が増えてきています。 ●このような場合、メタルOリングに代表されるメタルシールが選択されていますが、締付力が大きい、復元量が小さいという弱点から、ゴム材料や樹脂材料を用いたシールからの置き換えは容易にはできません。 ●これらの問題を解決するため、メタルシールとしての長所を持ちながら、小さな締付力で大きな復元量を有する全く新しいメタルシール『サンリーメス(R)』を開発しました。

    シール・密封CVD装置酸化/拡散装置
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三菱電線工業のメタルシール「サンリーメス」シリーズ

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●機器仕様の多様化に伴い、従来のゴム材料や樹脂材料を用いたシールでは、その材料特性から使用に耐えられない場合が増えてきています。 ●このような場合、メタルOリングに代表されるメタルシールが選択されていますが、締付力が大きい、復元量が小さいという弱点から、ゴム材料や樹脂材料を用いたシールからの置き換えは容易にはできません。 ●これらの問題を解決するため、メタルシールとしての長所を持ちながら、小さな締付力で大きな復元量を有する全く新しいメタルシール『サンリーメス(R)』を開発しました。

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用途/実績例

真空機器、半導体製造装置のチャンバー、継手などのシール

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